半导体检测量测设备行业研究:芯片良率守护者,短板突破正当时
检测量测设备为半导体质量控制的重要组成部分。芯片制造过程中会产生各种缺陷,质量控制设备把关整体良率,其贯穿于芯片制造全程,包括测试和过程工艺控制两大类型,后者根据功能可具体分为检测(Inspection)和量测设备(Metrology)。检测量测设备种类丰富,光学检测为主流技术路径。检测量测可以细分为晶圆检测、掩膜版检测、关键尺寸量测、膜厚量测、晶圆形貌量测等多种细分设备,技术路线可分为光学、电子束检测和 X 光检测三类,所涉设备市场空间占比分别为 75.2%、18.7%、2.2%,光学检测均衡