检测量测设备为半导体质量控制的重要组成部分。
检测量测设备为半导体质量控制的重要组成部分。芯片制造过程中会产生各种缺陷,质量控制设备把关整体良率,其贯穿于芯片制造全程,包括测试和过程工艺控制两大类型,后者根据功能可具体分为检测(Inspection)和量测设备(Metrology)。
检测量测设备种类丰富,光学检测为主流技术路径。检测量测可以细分为晶圆检测、掩膜版检测、关键尺寸量测、膜厚量测、晶圆形貌量测等多种细分设备,技术路线可分为光学、电子束检测和 X 光检测三类,所涉设备市场空间占比分别为 75.2%、18.7%、2.2%,光学检测均衡速度与精度,是过程工艺控制的主要技术路径。
中国大陆为半导体检测、量测设备的第一大市场。2020 年全球过程工艺控制设备占半导体设备开支的比例为 11.8%,其中检测、量测设备市场空间分别为 47.9、25.6 亿美元。分地区看,检测量测设备前三大市场为中国大陆、中国台湾、韩国,占比分别为 27%、25%、18%。
本土企业率先布局宽应用、低壁垒赛道,国产替代加速进行。检测量测设备竞争梯队分明,科磊半导体占据全球市场的半壁江山,全球 CR8市占率达 92%。国产企业率先切入晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等应用较宽、市场空间相对较大、难度壁垒相对较低领域,产品获得市场认可,市占率稳步提升,2018-2021 年,中科飞测在国内检测量测设备的市占率由 0.4%提升至 1.7%。
拓展广度,本土企业通过自主研发和并购海外子公司拓展产品线。以中科飞测为代表的企业通过自主研发向半导体检测量测领域发力;而以长川科技、赛腾股份、天准科技为代表的公司通过收购海外公司构建产业生态。本土企业产品覆盖率快速提升。
开掘深度,细分领域进军先进制程。本土企业先进制程产品研发持续取得突破:上海睿励 5nm 薄膜膜厚测量、中科飞测 2Xnm 以下套刻精度量测均处于验证阶段。
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