高精度MEMS陀螺仪专题分析：原理、工艺与产业链
MEMS 陀螺仪利用科里奥利力去测量角速度，用 MEMS 工艺实现，一般采用梳齿电容静电驱动质量块振动，角速度带来质量块另外一个方向的位移，用电容检测该位移从而计算出角速度。MEMS 陀螺仪基本都是谐振式陀螺仪，主要部件有支撑框架、谐振质量块及激励和测量单元，工作模态分为驱动模态与检测模态，两种模态的工作状态、稳定控制及后续信号处理都需要通过外围电路来实现，静电驱动是目前大部分 MEMS 陀螺仪采用的驱动方法，检测方式包括电磁检测、电容检测、压电检测和压阻检测等。