国产半导体量测设备行业研究:发展之天时地利人和

半导体量测设备行业壁垒高,竞争格局较为集中,我国国产半导体量测设备行业发展仍然处于初步阶段。

半导体量测设备行业壁垒高,竞争格局较为集中,我国国产半导体量测设备行业发展仍然处于初步阶段。半导体过程控制设备包括检测设备、量测设备和过程控制设备,广义的半导体量测设备包括了 Inspection 和 Metrology 两大环节。因为半导体量测设备与工艺设备直接挂钩,因此摩尔定律在一定程度上拉动了半导体量测设备的技术迭代。全球半导体量测设备市场规模保持较快增长,6 年 CAGR 为 12.21%。在所有品类的半导体量测设备中,纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备和关键尺寸量测设备销售市场占比较高,分别占比为 24.7%、11.3%和 10.2%。由于专利、技术被美国和日本等海外厂商所垄断,半导体晶圆制造设备以美国和日本等厂商为主。集成电路工艺设备门槛较高,市场集中度高,而量测设备需要与不同的工艺设备配套,对于线上良率提升来说重要性更加明显,行业集中度更高,而 KLA 公司市占率超过了 50%。半导体量测设备需要与半导体制造设备相匹配,由于我国半导体制造设备国产化率相对较低,因此国产半导体量测设备行业发展仍然处于初步阶段。

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